膜厚测量
薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说，如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。
AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜测量软件可以测量多达5层膜的厚度和光学常数（n、k值），实现实时或在线膜厚和折射率监控。
参数指标：
光谱范围 200~1100nm 测量速度 2 ms minimum
膜厚范围 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick
分辨率 1nm 测量精度 better than 0.25
典型应用领域：
Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半导体制造
Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶显示器
Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料
Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，矿物学，颜料，碳粉
Pharmaceuticals, Medial Devices 制药
Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜
Semiconductor compounds 半导体化合物
Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料
Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅
AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件，例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件，实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。 例如：AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。
